나노튜브 합성장치 > 판매

본 발명은 각종 고성능 나노튜브, 그 중 탄소나노튜브를 고순도, 고수율로 합성하는 장치에 관한 것이다. 나노 클러스터를 생성하는 생성영역 및 그 생성되는 나노 클러스터를 나노튜브로 합성하는 합성영역으 로 구분하여 운영되는 나노튜브 합성장치에 관한 것으로, 반응원료를 플라즈마를 통해 기화시켜 나노 클러스터를 생성하는 나노 클러스터 생성 챔버와; 상기 나노 클러스터 생성 챔버로부터 공급되는 나노 클러스터에 가스를 공 급하여 나노 클러스터의 농도를 희석시키는 나노 클러스터 농도 조정 챔버;로 이루어진 것을 특징으로 한다.